Mô tả
Mô tả
máy đo chân không cao HPG400
Máy đo Pirani ion hóa áp suất cao INFICON, HPG400, kết hợp các cảm biến ion hóa nóng áp suất cao và Pirani trong một gói duy nhất, nhỏ gọn, kinh tế để đo áp suất từ 2 × 10 -6 mbar đến khí quyển (1,5 × 10 -6 Torr với khí quyển). HPG400 cung cấp phép đo áp suất có thể lặp lại và lặp lại cao để kiểm soát áp suất quá trình phun chính xác.
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
| Kiểu | HPG400 | |
|---|---|---|
| Phạm vi đo | 2 × 10 -6 | |
| Độ chính xác | ||
| 10 -5 1 mbar | % đang đọc | ± 15 |
ƯU ĐIỂM
- HPG400 tiết kiệm chi phí và không gian công cụ và giảm sự phức tạp của việc cài đặt và thiết lập hệ thống chân không
- Máy đo ion nóng áp suất cao cung cấp các phép đo áp suất chính xác, đáng tin cậy từ 1 × 10 -5 Cách 1 mbar để kiểm soát quá trình được cải thiện
- Kích hoạt phát xạ ion nóng có thể lựa chọn của người dùng trong khoảng từ 5 × 10 -2 đến 1 mbar
- Khóa liên động Pirani bảo vệ dây tóc nóng khỏi sự kiệt sức sớm
- Hiển thị đồ họa tùy chọn và giao diện Fieldbus có sẵn
- Tự động điều chỉnh Pirani chân không cao làm giảm sự can thiệp của nhà điều hành
- Tuân thủ RoHS
CÁC ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU
- Ứng dụng phún xạ trong ngành sản xuất chất bán dẫn, điện tử và truyền thông
- Sơn công nghiệp
- Đo và điều khiển chân không chung trong phạm vi chân không thấp đến cao

